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真空電極（Feedthrough）法蘭的作用主要是在真空系統中實現電極與真空系統之間的密封連接。法蘭通常由兩個部分組成：法蘭本體和密封墊。法蘭本體是連接電極和真空系統的部分，而密封墊則用于在法蘭本體與電極之間提供一個密封界面，以確保真空環境的密封性。

在真空系統中，法蘭的密封作用非常重要，因為任何氣體泄漏都會導致系統的真空度下降。電極法蘭的質量和密封性能決定了整個真空系統的性能和可靠性。因此，在設計和制造真空電極時，需要選擇高質量、高真空兼容性的材料，并采用適當的工藝措施來確保法蘭的密封性能。此外，需要進行嚴格的泄漏測試和質量控制來驗證法蘭的密封性能。

SMA超高真空饋通

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