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真空微漏閥是一種用于控制和調節真空系統壓力的裝置。它的主要作用是允許氣體從真空系統中流出，以便維持系統的穩定壓力。當真空系統中的壓力超過微漏閥設定的壓力時，微漏閥會打開，使氣體流出系統。當系統壓力下降到微漏閥設定的壓力以下時，微漏閥會關閉，以保持系統壓力穩定。

真空微漏閥通常由一個閥體和一個閥芯組成。閥芯通過一個彈簧與閥體相連，當系統壓力超過設定值時，閥芯被壓縮并打開閥門。當系統壓力降低到設定值以下時，彈簧推動閥芯關閉閥門。

真空微漏閥廣泛應用于半導體、光學和實驗室設備等領域的真空系統中。它們通常被用來控制和調節真空系統的壓力，以確保系統的穩定性和可靠性。

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